论文部分内容阅读
分析了半导体表面空间电荷层对深亚微米、纳米尺度下半导体微结构２间电场的影响，并同宏观尺雨下采用的极板公式进行了比较。结果表明：当半导体微结构间距离在１μｍ以上时，可以忽略半导体表面空间电荷层对微结构间电场的影响；当半导体是距离缩小到亚微米和数十纳米量级时，空间电荷层对微结构间电场颁上的影响逐渐增大，此时分析电场一般不能利用金属极板公式，微结构间电场同金属极板近似公式间的相对误差与半导体材料的介电常