【摘 要】
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设计了一种微机电系统(MEMS)平面微起爆器并对其性能进行了研究.该微起爆器由MEMS微结构换能元和直写起爆装药两部分组成.金属微结构换能元和装药构筑在同一平面上.首先在氮化硅硅片上构造Ni/Cr微结构换能元,然后在微结构换能元的一侧刻蚀微装药腔体,微结构换能元的桥区部分构造在微装药腔体的内部.采用微控直写法,在微装药腔体内部写入一种具有多孔性质的纳米铜墨水前驱体,经过气固原位叠氮化反应后,形成叠氮化铜(Cu(N3)2)MEMS起爆器件.该微起爆器平均电阻为4Ω,作用时间为8.44μs,50％发火电压为1
【机 构】
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陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室,陕西 西安 710061
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设计了一种微机电系统(MEMS)平面微起爆器并对其性能进行了研究.该微起爆器由MEMS微结构换能元和直写起爆装药两部分组成.金属微结构换能元和装药构筑在同一平面上.首先在氮化硅硅片上构造Ni/Cr微结构换能元,然后在微结构换能元的一侧刻蚀微装药腔体,微结构换能元的桥区部分构造在微装药腔体的内部.采用微控直写法,在微装药腔体内部写入一种具有多孔性质的纳米铜墨水前驱体,经过气固原位叠氮化反应后,形成叠氮化铜(Cu(N3)2)MEMS起爆器件.该微起爆器平均电阻为4Ω,作用时间为8.44μs,50％发火电压为14.29 V,发火能量为0.33 mJ,装药量平均值5.18mg,质量相对标准偏差2.6％.该微起爆器能够起爆六硝基六氮杂异伍兹烷(CL?20)炸药.
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