论文部分内容阅读
阐述光刻设备中光学系统的温压控制,它融合了先进温度与压力控制算法、小型流体管路冷却与稳流技术等多项先进技术,能够为系统内的光学组件提供温度精度优于±0.02℃,压力控制精度优于±3Pa的受控洁净气体,是解决光刻设备中光学系统相关性能的关键。
光刻设备中光学系统的温压控制研究
【摘 要】
：
阐述光刻设备中光学系统的温压控制,它融合了先进温度与压力控制算法、小型流体管路冷却与稳流技术等多项先进技术,能够为系统内的光学组件提供温度精度优于±0.02℃,压力控
【机 构】
：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2021年4期
【基金项目】
：
上海市发展和改革委员会(XA4300089-2017-604)先进封装光刻机产业化课题。
其他文献
围产儿死亡包括死胎和出生7d内的新生儿死亡,是一种严重的产科并发症,也是备受关注的全球公共卫生问题[1-2]。围产儿死亡率是衡量一个国家健康卫生状况的重要指标之一[3]。据
新生儿呼吸窘迫综合征(RDS)是一类好发于早产儿的常见呼吸系统疾病,目前认为其发生与肺表面活性物质(PS)缺乏关系密切。RDS临床表现为分娩后短期出现呼吸急促、进行性呼吸窘
随着诊断技术的提高,肩袖损伤的患病率正在不断增加[1]。但是目前针对肩袖损伤的治疗仍存在很大争议,特别是肩袖部分撕裂,有学者建议采用保守治疗,包括休息、制动、口服药物
自全面预算绩效管理理念提出以来,各级政府积极构建符合自身实际业务需要的全面预算绩效管理体系,在目前已经开展的绩效管理框架内,更为注重预算绩效管理工作的"全面性",并从
江苏省南通市财政局开展了2018—2019年市级产业转型升级专项资金监督调查,通过核查与走访相结合的方式,发现典型问题,提出针对性建议,不断加强对产业转型升级专项资金的监管
近年来,"苍蝇式"腐败侵蚀基层根基,基层涉纪乱象受到社会广泛关注。"互联网+"时代如何强化基层财政监督?湖南省娄底市借助科技手段,构建"互联网+村级小微权力监督"管理体系,
2021年湖南省麻阳苗族自治县财政局聚焦监督主责主业,紧紧围绕"六个突出",以"找差距、补短板、转方式、抓改革、促提高"为出发点,谋划监督工作思路。突出组织领导。成立以党
背景材料:3月24日,中共中央办公厅、国务院办公厅公布了《关于进一步深化税收征管改革的意见》(以下称《意见》)。《意见》以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,围绕把
近日,财政部辽宁监管局在开展调研时发现,涉农资金统筹整合过程中存在突出问题,主要表现在:一是资金来源分散。涉农资金管理使用涉及发改、农业、水利、林草、生态和国储等多
建立现代财税金融体制是"十四五"规划对我国国家经济治理体系提出的新要求,也是新发展格局下实现经济高质量发展的制度需要。财税体制与金融体制协调配合可形成政策合力,改变