TFT-LCD制程中Bubble的分析与改善研究

来源 :电子技术与软件工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangkaihao_2008
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Bubble是TFT-LCD制程中一种常见的缺陷。本文对空气Bubble与真空Bubble进行区分:空气Bubble在形态上比真空Bubble更圆滑,在90℃高温条件下,空气Bubble变大,真空Bubble变小,在-20℃低温条件下,空气Bubble变小,真空Bubble变大。两种类型Bubble的产生机理不同:空气Bubble的产生主要与Sealant有关,而真空Bubble主要与PS高度和液晶量有关。
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