离子束溅射技术制备高性能光通信带通滤光膜的研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hcyzhcyz

【摘要】

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【作者】

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石澎张功张于帅王丽荣

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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薄膜带通滤光膜谐振腔耦合层

【基金项目】

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吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX);广东省中山市科技局项目(2016B2182)

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