表面栅静电感应晶体管沟道势垒形成机理研究

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为了研究静电感应晶体管(SIT)势垒形成机理,本文利用Silvaco Tcad软件模拟,仿真分析了沟道势垒对栅、漏极电压的依赖关系.通过改变反偏栅压和漏偏压,得出了器件沟道在完全夹断状态下,沟道势垒成马鞍型分布.反偏栅压影响着器件导通和关断状态,漏偏压影响着势垒的高低,且二者相互依赖,共同影响着沟道势垒的形成.
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