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直流轰偏电源输出的平滑的直流电压、加在充有氮气的真空镀膜室内的工件上，不能产生辉光放电，因而无法对不锈钢工件表面进行清洁。为此我们改变输出电路，使之输出脉动直流电压，作用于真空镀膜室，从而使氮气产生辉光放电，达到清洁不锈钢工件表面的目的。
改进真空镀膜机直流轰偏电源
【摘 要】
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直流轰偏电源输出的平滑的直流电压、加在充有氮气的真空镀膜室内的工件上，不能产生辉光放电，因而无法对不锈钢工件表面进行清洁。为此我们改变输出电路，使之输出脉动直流电压，作
【机 构】
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重庆电力高级技工学校
【出 处】
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电工技术
【发表日期】
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1999年3期
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