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根据串列加速器中铯溅射负离子源（ＳｏｕｒｃｅｓｏｆＮｅｇａｔｉｖｅＩｏｎｓｂｙＣｅｓｉｕｍＳｐｕｔｔｅｒｉｎｇ，ＳＮＩＣＳ）产生负氘离子的要求，制备了一种氘化钛阴极。它由１个圆柱形的铜阴极心和填满其中心孔的氘化钛溅射靶构成，作为溅射靶材料的氘化钛通过高纯度钛粉与氘进行化学反应制得。钛粉在适当的温度下进行真空处理，从而获得良好的化学活性，很容易与氘化合生成氘钛原子比为１．５的氘化钛（ＴｉＤ１．５）。