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利用化学喷涂工艺在石英管材上制作SnO2薄膜，成膜时在石英管表面和SnO2薄膜的界面上形成Si扩散层，随着成膜时间、固化温度的改变，Si扩散层的厚度不同，直接影响薄膜电阻率的改变，严重制约着薄膜面功率密度的改善。通过对形成Si扩散机理的3个阶段的分析．找出了Si扩散的主要因素．提出了5项防止Si扩散的控制措施，对批量生产和提高薄膜面功率密度有一定的参考作用。