【摘 要】
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利用聚合物材料SU-8作为芯层、聚合物材料PMMA作为上包层和无机材料SiO2作为下包层，设计并研制了一种有机／无机混合结构的Mach—Zehnder干涉（MZI）热光（TO）开关。为了保证波导中的单
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利用聚合物材料SU-8作为芯层、聚合物材料PMMA作为上包层和无机材料SiO2作为下包层，设计并研制了一种有机／无机混合结构的Mach—Zehnder干涉（MZI）热光（TO）开关。为了保证波导中的单模传输、减小模式辐射损耗和衬底泄露损耗、缩短响应时间并降低器件功耗，对其结构参数做了优化。利用化学气相沉积（CVD）、涂膜和湿法刻蚀等工艺制备了器件样品。在1550nm工作波长下，器件的开和关状态的驱动功率分别为0和13mW（开关功率为13mW），开和关状态间的消光比为18．3dB。在方波驱动电压信号作用下，
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