【摘 要】
：
利用TCAD软件搭建高效的双栅及三栅FinFET模型,研究影响多栅器件性能的相关参数。结果显示,随着栅极有效控制面积的增加,器件栅控能力得到明显增强。当三栅FinFET栅长缩减至1
【机 构】
：
上海电力大学,上海积塔半导体有限公司,上海华力集成电路制造有限公司
论文部分内容阅读
利用TCAD软件搭建高效的双栅及三栅FinFET模型,研究影响多栅器件性能的相关参数。结果显示,随着栅极有效控制面积的增加,器件栅控能力得到明显增强。当三栅FinFET栅长缩减至10nm,鱼鳍高度及鱼鳍宽度分别取Fh=40nm,Fw=5nm时,器件亚阈值参数基本达到理想值:亚阈值斜率(SS)为66.35mV/dec,漏端致势垒降低效应(DIBL)为24mV且由鱼鳍形状引入的拐角效应也得到一定程度上的缓解。最后,以高介电常数(高k)材料HfO2替代传统低介电常数材料SiO2作为三维小尺寸器件的栅氧化层介质,
其他文献
如果你要问哪里人才最多，我不吹牛地告诉你，非我们六（3）班莫属。怎么，不信？那就随我一起来看看我们班的“奇才”吧！ 首先，我要向大家介绍的是“对不起先生”——刘涛闻。他没完成作业时，老师绝对不能教训他，因为万一道歉功能启动的话，他就会睁着“炯炯有神”的眼睛，牙齿外露，声音十分诡异，一字一顿地说：“对——不——起。”然后滔滔不绝地说一大堆话为自己狡辩，听得老师的头都快要炸了。 你会走吗？会笑吗？
目的探讨与分析利奈唑胺治疗医院获得性耐甲氧西林金黄色葡萄球菌肺炎的临床疗效。方法选取医院获得性耐甲氧西林金黄色葡萄球菌肺炎的患者85例.将患者随机的分为观察组和对
为了更好的控制全自动单片清洗设备,通过研究设备的结构和运行流程,提出了一种基于工位自控制的方法实现设备自动运行的软件设计,使各工位并行运行,提高了运行效率。
你的身边正在流行什么？有什么事物正在逐渐改变我们的生活？不知道你是否想过，我们也可以把这类事物写入洋葱新闻，也许有一天，它们会成为中考作文的题目。不信吗？让我们看看下列这些正在改变我们的洋葱新闻吧。 我为何屏蔽微信运动 近段时间，使用微信运动计步的同学朋友越来越多了，这本来是件好事。可是，万恶的步数排行榜出现了。人比人，比死人啊。我这才发现我有很多好友都是长跑健将。 我想着自己每天上课下课来
开关电源的控制电路可以分为电压型和电流型，电流型开关电源具有更好的电压和负载调整率，系统的稳定性和动态特性得以明显改善。给出了一种用于电机控制的新型多输出反激电源的
在冲天炉熔炼中，加入铸铁切屑冷压成的铁屑饼（以下简称铁饼），可以代替或部分代替废钢起到降碳效果。铁饼的加入量如何确定，我们在生产中摸索出一套计算方法，可以达到配料的要求。
为了解决LD芯片贴片机顶针机构的顶针容易断裂以及调试难度较大的问题,通过对原顶针机构工作原理的分析,阐述了原顶针结构存在问题的原因;为了进一步提高设备的稳定性,对原机
采用搅拌铸造法制备了碳纳米管/ZM5镁合金复合材料,研究了搅拌法加入碳纳米管的工艺特点,测试了复合材料的力学性能,并利用扫描电子显微镜和能谱分析对复合材料断口形貌进行
面对新的时代,小主们,你们还敢蜷缩在宫墙内强说愁吗？大胆发现,勇敢发出自己不同的声音,才是王道.今天的奇葩辩论团我们就为大家准备了一个亮瞎眼的话题一网络直播.是的,你没
2007年中国压铸、挤压铸造、半固态加工学术年会于2007年7月7～11日在重庆渝州宾馆举行。本次年会是中国铸造学会压铸专业委员会、中国兵工学会金属材料分会挤压铸造专业委员会