【摘要】形状记忆合金（SMA）是一种新的智能材料，在微机电系统领域得到了广泛的应用。本文提出利用形状记忆合金作为驱动源，设计出一种新型流量控制微泵，并对泵体进行了结构设计和加工制作。实验结果表明：该泵具有结构简单，性能稳定等，达到了预期效果。
　　【关键词】SMA；结构设计；微泵
　　【中图分类号】U418.8
　　【文献标识码】A
　　【文章编号】1672—5158（2012）10-0203-01