形状记忆合金精密微泵的设计与制作

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  【摘要】形状记忆合金(SMA)是一种新的智能材料,在微机电系统领域得到了广泛的应用。本文提出利用形状记忆合金作为驱动源,设计出一种新型流量控制微泵,并对泵体进行了结构设计和加工制作。实验结果表明:该泵具有结构简单,性能稳定等,达到了预期效果。
  【关键词】SMA;结构设计;微泵
  【中图分类号】U418.8
  【文献标识码】A
  【文章编号】1672—5158(2012)10-0203-01
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