熔盐组分对电沉积钨层的影响

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在NaCl-KCl-NaF-WO3的熔盐体系中在Cu电极上制备了致密的钨沉积层;采用扫描电镜和辉光放电等方法,分析了熔盐组分对钨沉积层的影响。结果表明,当c(NaF)=0.1时,基板表面W含量约为75%;当c(NaF)=0.25和0.4时,基板表面钨含量达到近95%。当熔盐组分摩尔比为c(NaCl)∶c(KCl)∶c(NaF)∶c(WO3)=0.3385∶0.3385∶0.25∶0.073时,可获得致密而且表面质量较好的钨沉积层。
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