【摘 要】
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为保证数字微镜器件（DMD）的温度水平满足要求，采用计算和试验相结合的方法，对DMD热设计进行了研究。通过设计强迫液体冷却的散热方案，计算DMD各个测温点的温升，得出反射红、绿、蓝
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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为保证数字微镜器件（DMD）的温度水平满足要求，采用计算和试验相结合的方法，对DMD热设计进行了研究。通过设计强迫液体冷却的散热方案，计算DMD各个测温点的温升，得出反射红、绿、蓝光的DMD最大温升分别为14.4℃、11.3℃、10.2℃，通过试验对热设计方案及计算结果进行了验证，试验结果与计算结果最大偏差不超过2.5℃，试验表明，所设计的热设计方案可靠，温升计算正确，为整机热设计和优化提供了理论依据。
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