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介绍了一种新型结构CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性.分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响,并对气敏机理的有关问题进行了讨论.
一种新型CO气敏双层薄膜材料
【摘 要】
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介绍了一种新型结构CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性.分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响,并对气敏机理的有
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院
【出 处】
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中国环境监测
【发表日期】
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2001年5期
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