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采用课题组新发展的氧化辅助脱合金（OAD）技术,对由磁控溅射设备在不锈钢衬底上沉积的Cu0.54Al0.46合金薄膜进行化学腐蚀处理,从而得到CuxO多孔纳米结构薄膜。利用粉末X射线衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜对腐蚀产物的晶体结构、微观形貌和化学成分进行了表征分析。研究结果表明,腐蚀产物为一大面积且均匀的CuxO多孔纳米结构薄膜,它主要由片状结构的Cu8O7和棒状结构的Cu2O共同组成。进一步地,对CuxO多孔纳米结构薄膜的形成机理进行了初步探讨。