【摘 要】
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电子束溅射随遇质谱测定法(SNMS)是一种定量表面分析新方法,在半导体、化学和冶金工业中具有广泛的应用。SNMS能测定所有的元素和同位素,还能进行整体分析,其测量下限达10pp
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电子束溅射随遇质谱测定法(SNMS)是一种定量表面分析新方法,在半导体、化学和冶金工业中具有广泛的应用。SNMS能测定所有的元素和同位素,还能进行整体分析,其测量下限达10ppm。SNMS不受基体影响,因此用标准灵敏因数可直接定量。 VG lonex公司介绍了SNMS作为其Simslab 3仪器的一种新方法的使用价值。
Electron Beam Sputtering Spectrometry (SNMS) is a new method of quantitative surface analysis that has wide applications in the semiconductor, chemical and metallurgical industries. SNMS can measure all elements and isotopes, but also for overall analysis, the measurement limit of 10ppm. SNMS is unaffected by the matrix and therefore quantifies directly with a standard sensitivity factor. VG Lonex presented the value of using SNMS as a new method for its Simslab 3 instrument.
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