Saturation Ion Current Densities in Inductively Coupled Hydrogen Plasma Produced by Large-Power Radi

来源 :Plasma Science and Technology | 被引量 : 1次 | 上传用户:xiaosongshu2009
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An experimental investigation of the saturation ion current densities(Jions) in hydrogen inductively coupled plasma(ICP) produced by a large-power(2-32 kW) radio frequency(RF) generator is reported,then some reasonable explanations are given out.With t
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