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本文依据软Ｘ射线标量散射理论，给出了一种用软Ｘ射线全积分散射检测超我滑表面粗糙度ＲＭＳ值的方法，并设计和建立了测试装置，得到了新的测量结果。
一种检测超光滑表面粗糙度方法的初步研究
【摘 要】
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本文依据软Ｘ射线标量散射理论，给出了一种用软Ｘ射线全积分散射检测超我滑表面粗糙度ＲＭＳ值的方法，并设计和建立了测试装置，得到了新的测量结果。
【机 构】
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长春邮电学院,中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光散射学报
【发表日期】
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1996年3期
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