【摘 要】
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目前,国际研究领域有关MEMS技术日益成熟,各种MEMS传感器层出不穷,包括气象检测领域所使用的各种传感器。而在国内,利用MEMS技术制作的气象传感器还几乎是空白。为此,东南大
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目前,国际研究领域有关MEMS技术日益成熟,各种MEMS传感器层出不穷,包括气象检测领域所使用的各种传感器。而在国内,利用MEMS技术制作的气象传感器还几乎是空白。为此,东南大学MEMS教育部重点实验室的研究人员正在从事此项研究,该研究获得了江苏省科技项目的资助。
At present, MEMS technology is increasingly mature in the international research field, and various MEMS sensors are emerging, including various sensors used in the field of meteorological testing. In China, the use of MEMS technology to produce meteorological sensors is almost blank. To this end, Southeast University MEMS Key Laboratory of Ministry of Education researchers are engaged in this study, the study won the Jiangsu Provincial Science and Technology Project funding.
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