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本文利用有限单元法对干涉光谱仪精密动镜驱动装置进行了分析，得到了该装置的固有频率和主振型。
干涉光谱仪动镜四连杆驱动装置的谐振分析
【摘 要】
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本文利用有限单元法对干涉光谱仪精密动镜驱动装置进行了分析，得到了该装置的固有频率和主振型。
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所光学工程部
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1996年7期
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