浓度对Sol-Gel法制备BST薄膜结晶及介电性能的影响

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【摘要】

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以醋酸锶、醋酸钡和钛酸四丁酯为前驱体原料，配制了不同浓度（0．05mol／L、0．1mol／L、0．3mol／L、0．4mol／L、0．5mol／L）的Bao．65Sr0．35T103溶胶，采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）和旋涂工艺，成功制备了BST薄膜

【作者】

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刘敬周宗辉

【机构】

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济南大学材料科学与工程学院

【出处】

：

红外

【发表日期】

：

2009年2期

【关键词】

：

BST 浓度 SOL-GEL 结晶介电性能 BST concentration Sol-Gel crystal dielectric properti

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以醋酸锶、醋酸钡和钛酸四丁酯为前驱体原料，配制了不同浓度（0．05mol／L、0．1mol／L、0．3mol／L、0．4mol／L、0．5mol／L）的Bao．65Sr0．35T103溶胶，采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）和旋涂工艺，成功制备了BST薄膜。采用XRD、SEM和阻抗分析仪研究分析了前驱液浓度对BST薄膜的结晶、微观形貌和性能的影响。结果表明，在相同热处理温度下，随着前驱液浓度增加，薄膜的结晶程度、晶粒生长情况和介电常数依次提高，介电损耗降低。浓度为0．5mol／1的溶胶形成的薄膜的结晶程度较

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