Formation of High-quality Advanced High-k Oxide Layers at Low Temperature by Excimer UV Lamp-assiste

来源 :高等学校化学研究：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rjviva

【摘要】

：

We have successfully demonstrated that high quality and high dielectric constant layers can be fabricated by low temperature photo-induced or -assisted processi

【作者】

：

YUJ.J.

【机构】

：

Electronic＆ElectricalEngineering

【出处】

：

高等学校化学研究：英文版

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法化学气相沉积电介质氧化物薄膜低温紫外线诱导合成 Excimer lamp High-kdielectrics Thin film

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

We have successfully demonstrated that high quality and high dielectric constant layers can be fabricated by low temperature photo-induced or -assisted processing. Ta2O5 and ZrO2 have been deposited at t＜400 ℃by means of a UV photo-CVD technique and HfO2

其他文献

Catalytic Synthesis of Hexyl-naphthalene over H-type Zeolites

H-type zeolites(HY, Hβ, and HM) were synthesized and characterized by XRD, NH3-TPD, and Py-IR. Selectively catalytic alkylation of naphthalene with n-hexanol t

期刊

己基萘沸石催化合成烷化结构表征H-type zeolites Naphthalene n-Hexanol Hexylnaphthalene A

试谈师范院校教学管理的原则、内容和方法

<正> 师范院校的教学管理是学校内部的基本活动,它是高校教育、教学工作的客观规律的反映和应用。教学管理活动的内在规律又主要表现在管理的原则、内容和方法上。所以讨论教

期刊

教学管理教学工作讨论教学师范院校教学环节组织教学过程提高质量教学质量专业基本功教学计划

善得定治疗食管胃底静脉曲张破裂出血

期刊

善得定治疗食管胃底静脉曲张破裂出血

Solution of the Poisson-Boltzmann Equation for a Cylindrical Particle with a Limited Length： Functio

With the help of the method of separation of variables and the Debye-Hüchel approximation, the Poisson-Boltzmann equation that describes the distribution o

期刊

静电分析EDL理论球状胶束泛函分析Cylindrical particle Electrical double layer Poisson-Bolt

A Novel Layered Complex with Rhomboidal Channels： Hydrothermal Synthesis, Crystal Structure, and Pro

The combination of both 4,4′-bipyridine(4,4′-bipy) and dihydrogen phosphate anion ligands with copper(Ⅱ) results in the formation of a novel layered compound

期刊

磷酸盐44'-双吡啶铜(Ⅱ)复合物沟渠构造热液合成Phosphate44′-BipyridineCopper(Ⅱ) complexC

电容系数及电容——指正赵凯华著《电磁学》中两点疏忽

<正> 一、电容系数电容的概念无论在理论上还是在实用上都是十分重要的。在数学中它也是最难正确理解的概念之一。例如有这样一道习题:[1]

期刊

赵凯华电势分布电位降等位面高斯定理定义式参考点线性关系结如无穷远

等离子喷涂Cr2O3-8％TiO2涂层参数优化研究

等离子喷涂陶瓷涂层与基体的结合强度往往较小，限制了其实际应用，为了提高结合强度，用正交试验方法研究了等离子喷涂工艺的4个主要参数（喷涂距离、电流、主气流量和辅气流量）对Cr2

期刊

等离子喷涂Cr2O4-8%TiO2涂层结合强度正交试验Plasma spray Cr2O4-8％TiO2 coating Bonding strengt

线粒体功能调控在膀胱癌治疗中作用的研究进展

线粒体是一个复杂的真核细胞器,由磷脂组成特征性的外膜和内膜共同维持线粒体膜的稳定性,当膜稳定性改变时,可启动凋亡因子,诱发肿瘤细胞凋亡。膀胱癌是常见的恶性肿瘤,目前

期刊

膀胱癌线粒体膜稳定性信号通路调控活性氧线粒体能量代谢

资产减值损失分摊例解

《企业会计准则第8号——资产减值》对总部资产、商誉、资产组或资产组组合的认定以及可收回金额的确定做出了比较详细而明确的规定，本文旨在通过实例来探计如何在资产组或资

期刊

资产组资产组组合减值损失分摊

72例女性盆腔炎性巨块的中医护理

盆腔炎性包块是妇科的一种常见病,临床表现为急性下腹部疼痛,伴发热、阴道充血,并有大量脓性分泌物,慢性期可有低热、易疲乏、下腹痛或腰痛,子宫活动受限或粘连固定,我科自19

期刊

女性盆腔炎性巨块中医护理

Formation of High-quality Advanced High-k Oxide Layers at Low Temperature by Excimer UV Lamp-assiste

与本文相关的学术论文