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Intel逻辑技术研发部工艺架构和集成主管Mark Bohr介绍说，当开始计划生产22nm的微处理器产品时，Intel认为在2011年前极紫外（EUV）光刻技术都不会是一项具有生产价值的技术。
Intel：2011年前EUV无法在22nm大展拳脚
【摘 要】
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Intel逻辑技术研发部工艺架构和集成主管Mark Bohr介绍说，当开始计划生产22nm的微处理器产品时，Intel认为在2011年前极紫外（EUV）光刻技术都不会是一项具有生产价值的技术。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年7期
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