基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Lucy
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提出了一种离线精确测定金属铝薄膜光学常数的方法。与传统的原位测量方法相比,这种方法简便,不需要连接到真空室的复杂测量设备上。该方法以测量椭偏光谱曲线和分光光谱曲线为目标,考虑金属铝薄膜在空气中表面氧化的影响,在混合优化算法的基础上,使用基于色散关系的多波长法拟合确定金属铝薄膜从紫外到可见区(200~800nm)的光学常数;优化算法采用多种群并行遗传算法和单纯形法相结合的方式,提高了拟合质量和速度,得到了理想的结果,光谱曲线拟合误差〈2%。在确定了铝光学常数的基础上,镀制了单腔紫外诱导透射滤光片,测量的透过
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