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利用高分子共混物的微相分离和自组装原理，采用溶液共混和旋转涂膜的方法制得聚苯乙烯／聚甲基丙烯酸甲酯（PS／PMMA）高分子共混物薄膜，对薄膜经过再加工得到具有纳米微孔的PMMA薄膜，研究了对溶液进行超声处理的时间、PS／PMMA共混物溶液浓度、旋涂转速和试片表面对掩膜形貌的影响。以此PMMA薄膜为掩膜对GaP表面进行湿法腐蚀，得到一种蜂窝状的表面微结构，它能使发光二极管（LED）的光功率平均提高18％。