【摘 要】
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为了达到纳米级的定位精度,并考虑到压电式粘滑作动器能够达到极高的定位精度（＜5 nm）,研发了一种塔形压电式粘滑直线作动器.该作动器由塔形定子和动子构成,其中塔形定子由4片压
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为了达到纳米级的定位精度,并考虑到压电式粘滑作动器能够达到极高的定位精度（＜5 nm）,研发了一种塔形压电式粘滑直线作动器.该作动器由塔形定子和动子构成,其中塔形定子由4片压电陶瓷与金属弹性体粘接构成,动子在预压力的作用下与定子保持接触.当输入锯齿波激励信号时,塔形定子利用y-z面内强迫弯曲振动来激发定子驱动足产生非对称切向振动,从而驱动动子正反向运动.在分析电机工作原理的基础上,制作了原理样机及其实验装置,然后进行了模态实验和机械特性实验.实验表明：锯齿波激励信号的峰峰值电压400 V、预压力6N的条件
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