非致冷微测辐射热计用Cd1-xZnxS高性能电阻温度系数材料

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微测辐射热计是一种红外探测器,它会吸收红外辐射并略微地变热。其电阻是随温度变化的,因而可以被测量和校正。微测辐射热计最常用的材料有VOx和非晶硅,其中非晶硅的动态范围和隔热性能较差,因此基于非晶硅的微测辐射热计的应用目前仅限于消防方面。本发明提供一种电阻热系数高达1.5%-3.7%的Cd1-xZnxS薄膜材料。由于具有优良的特性,它可以在微测辐射热计类非致冷红外传感器中使用。这种薄膜材料可以用MOCVD、热蒸发或其它技术淀积。
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ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技