离子蚀刻闪耀光栅

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一、前言全息光栅有很多优点,诸如:(1)由于线槽间隔的精度极高,故不会出现鬼线,而且杂光也少;(2)可以比较容易地做出很细的线槽间隔;(3)与历来的机刻光栅相比,可节省不少制造费用和时间。但是,光栅的衍射效率十分敏感地依附于线槽的形状,为获得高的衍射效率,必须使线槽具有特定的形状。在机刻光栅的情况下,线槽呈三角形,具有某种闪耀效应,因而提高了衍射效率。但在全息光栅的情况下,一般难以控制线槽的形状,从而很难提 I. INTRODUCTION Holographic gratings have many advantages, such as: (1) ghost lines do not appear and the stray light is less due to the high accuracy of the groove intervals; (2) the thinner groove can be made relatively easily Interval; (3) compared with the machine engraved grating, can save a lot of manufacturing costs and time. However, the diffraction efficiency of the grating depends very much on the shape of the groove. In order to obtain high diffraction efficiency, the groove must have a specific shape. In the case of engraved gratings, the trunking has a triangular shape with some sparkling effect, thereby increasing the diffraction efficiency. However, in the case of a holographic grating, it is generally difficult to control the shape of the groove, making it difficult to mention
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