【摘 要】
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理论分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型,研究了非线性产生的物理机制。采用外部静电激励机制,使悬臂梁谐振器产生谐振,借助Polytec激光多普勒测振系统检测了悬臂
【机 构】
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东南大学电子科学与工程学院MEMS教育部重点实验室
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理论分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型,研究了非线性产生的物理机制。采用外部静电激励机制,使悬臂梁谐振器产生谐振,借助Polytec激光多普勒测振系统检测了悬臂梁的频率响应曲线。测试结果表明,悬臂梁具有显著的非线性效应（即＂弹簧变软＂效应）。实验证实了这种非线性效应几乎和交流电压无关,却随着直流电压的增大而显著增大,最大峰值偏移达到0.5MHz。提取出3组一阶机械弹性系数分别为79.62,31.75和14.92N/m,实验结果符合理论规律。对实验中的偏差做了进一步的分析和讨论,利用软件ANSYS
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