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在对超精密工作台自标定相关文献综述的基础上,基于刚体运动方程和非线性最优化方法,提出了一种超精密工作台自标定算法.仿真结果表明:该算法可以实现超精密工作台的标定,并且其最终标定精度与辅助测量装置精度无关,只受自标定过程中随机测量噪声的影响.
IC加工及检测装备超精密工作台自标定技术研究
【摘 要】
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在对超精密工作台自标定相关文献综述的基础上,基于刚体运动方程和非线性最优化方法,提出了一种超精密工作台自标定算法.仿真结果表明:该算法可以实现超精密工作台的标定,并
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年3期
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