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用磁控溅射方法制备了含Ti4at％，18at％，27at％的非晶碳膜。用XPS分析了含Ti18at％碳膜的碳键结构、化合物组成。结果发现：碳膜的C1s峰在284eV附近，碳膜中sp^2：sp^3=14．6：6．3，sp^2占明显优势，碳键结构以sp^2为主；Ti2p谱的455．2eV处的峰对应TiC，说明形成了TiC。用XRD对含Ti4at％，18at％，27at％碳膜进行物相分析。结果发现：含Ti18at％和27at％时，都存在TiC（111），TiC（200）和TiC（220）晶向，但27at％的Ti