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为了提高长波红外量子阱探测器的光耦合效率和信噪比,以8.7μm为中心波长,设计和制备了量子阱亚波长微柱阵列结构.与已经报道的金属或介质微腔结构不同,本文的微柱结构有源区包含50周期的量子阱/垒层,结合低至0.18的占空比,可望在增强吸收的同时显著抑制暗电流.红外光谱测量验证了制备的微柱阵列在8～9μm波段8％以内的低反射率特征,从而为高工作温度、高信噪比的长波红外探测提供了新方案.