50～110nm波段高反射率多层膜的设计与制备

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xrp880823

【摘要】

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阐述了50～110nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法．这种膜系是由强吸收材料叠加而成，每层膜光学厚度小于四分之一个波长．与常规周期多层膜相比，这种膜系更适用于提高强吸

【作者】

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李存霞王占山王风丽朱京涛吴永荣王洪昌程鑫彬陈玲

【机构】

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同济大学精密光学工程技术研究所物理系

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2007年10期

【关键词】

：

亚四分之一波长多层膜极紫外高反射率磁控溅射 Sub-quarter-wave Multilayer EUV Reflectivity Ma

【基金项目】

：

国家自然科学基金（60378021,10435050）,863项目（2005AA843031）,教育部新世纪优秀人才支持计划（NCET-04-0376）和同济大学理科发展基金资助项目

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阐述了50～110nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法．这种膜系是由强吸收材料叠加而成，每层膜光学厚度小于四分之一个波长．与常规周期多层膜相比，这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率．利用该方法设计了50nm处高反射多层膜，并以此为初始条件通过Levenberg-Marquart优化方法完成了50～110nm强吸收波段宽带高反射率Si／W／Co多层膜的设计，其平均反射率达到45％．采用直流磁控溅射方法制备了Si／W／Co多层膜，用X射线衍射仪（XRD）对膜层结构进行了测试，测试结果表明制作出的多层

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