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采用磁控溅射技术在PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）衬底上制备了TiO2-CeO2复合薄膜；用X射线衍射仪、扫描电镜和UV-VIS分光光度计分析了薄膜的相组成、表面微观形貌和透射率。结果表明：溅射态的薄膜为非晶态；经150℃退火12h后，薄膜表面有锐钛矿相颗粒析出；随着溅射功率的增加，薄膜表面的锐钛矿相颗粒数量明显增多，形状接近球形，在功率为100W时，尺寸约为120nm；随着溅射功率的增大，薄膜对紫外和可见光的透射率降低；另外，薄膜表面形貌和透射率也受溅射时间的影响。