球形金刚石的形成机制

来源 :中国有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mbcz123

【摘要】

：

在p-Si(100)基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜. 用XL30FEG扫描电镜、 X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究, 并对其形

【作者】

：

邱万奇刘正义陈剑惠

【机构】

：

华南理工大学

【出处】

：

中国有色金属学报

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

微晶二次形核化学气相沉积法金刚石薄膜球形金刚石形成机制 diamond micro-crystal second nucleating chemi

【基金项目】

：

广东省自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目

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在p-Si(100)基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜. 用XL30FEG扫描电镜、 X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究, 并对其形成机制进行了分析. 结果表明: 球形金刚石的颗粒密度和形核密度一致, 球形金刚石由微晶金刚石组成, 晶粒尺寸为70～200?nm; 微晶金刚石是沉积过程中快速二次形核而形成, 呈无序分布; 球形金刚石薄膜以二次形核方式繁衍生长.

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