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研究了一种制作微陶瓷器件的快捷、方便、低成本的方法.利用同步辐射曝光、深紫外曝光或者注塑的方法,制作出带有微结构的模具,加入经过处理的陶瓷粉,通过模压后,脱去基片,在1500℃烧结成形,可以得到精度在几十微米的微结构.利用该工艺制作了微陶瓷反应器.
陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究
【摘 要】
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研究了一种制作微陶瓷器件的快捷、方便、低成本的方法.利用同步辐射曝光、深紫外曝光或者注塑的方法,制作出带有微结构的模具,加入经过处理的陶瓷粉,通过模压后,脱去基片,在
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2005年z1期
【基金项目】
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教育部博士点基金资助项目(20020358024)
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