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本文建立ＩＣ光刻工艺相关缺陷计算模型和基于Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ统计成品率计算模型。阐述了集成电路功能优品率仿真系统ＸＤ－ＹＥＳ实现，讨论了应用ＸＤ－ＹＥＳ实现的功能成品率设计，并给出该系统实用性验证。研究分析表明，其结果与实际结果符合很好。
VLSI成品率预测与仿真
【摘 要】
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本文建立ＩＣ光刻工艺相关缺陷计算模型和基于Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ统计成品率计算模型。阐述了集成电路功能优品率仿真系统ＸＤ－ＹＥＳ实现，讨论了应用ＸＤ－ＹＥＳ实现的功能成品率设计，并给出该系统实用性验证。研究分析表
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所,浙江大学CAD＆GC实验室
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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国家科技攻关96738项目资助
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