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用多片具有不同金属钛膜厚度和充氚量的氚钛片对两种单晶硅基PN结型器件进行了辐照，在线测量了它们的电输出性能并进行了定性分析。结果表明，在本文所采用的钛膜厚度和氚量级下，器件输出短路电流等随充氚量增加而小幅增大，但不成正比关系；器件的掺杂浓度、结深等结构参数对器件电输出性能影响较大。
PN结型器件在氚钛片辐照下电输出性能
【摘 要】
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用多片具有不同金属钛膜厚度和充氚量的氚钛片对两种单晶硅基PN结型器件进行了辐照，在线测量了它们的电输出性能并进行了定性分析。结果表明，在本文所采用的钛膜厚度和氚量级下
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2009年8期
【基金项目】
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中国工程物理研究院科学技术发展基金（2007A02001）资助
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