还原炉电极外套强制冷却装置的研究

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分析了常用的还原炉电极外套强制冷却装置在技术上的不足,提出了新的强制冷却装置的设计方案。新的冷却装置在实际应用中取得了很好的效果,从而保证了多晶硅的产量和质量。
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