AFM技术能够实现量产中的缺角检测

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当谈及“divot”时,多数人可能都会联想到当高尔夫球手的击球没有控制好时,杆头从草地上削去一块草皮而留下的洞。但是,对于器件制造商而言,这个词具有完全不同的含义。电路中,在有源区和被填充的隔离沟槽之间会出现一个divot(缺角)。在浅槽隔离(STI)工艺的化学机械抛光模块中,沿着SiO2/Si界面出现的机械应力通常会导致缺角的产生。
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