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本文对微电子机械技术的组成、发展及现状做了全面综述,客观地预测了微电子机械的应用前景,简要地介绍了微电子机械的加工机理及基本步骤。
发展中的微电子机械技术
【摘 要】
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本文对微电子机械技术的组成、发展及现状做了全面综述,客观地预测了微电子机械的应用前景,简要地介绍了微电子机械的加工机理及基本步骤。
【机 构】
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丹东纺织高等专科学校讲师118003
【出 处】
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丹东纺专学报
【发表日期】
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1997年4期
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