单管体硅，SOI及DSOI MOSFET热分析

来源 :工程热物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：glorfinde

【摘要】

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本文简单介绍了SOI和DSOI半导体器件制造技术,并提出了单管体硅,SOI及DSOI MOSFET的热阻模型.进而对体硅,SOI MOSFET器件,特别是DSOI MOSFET的热学特性进行数值计算,比较并分

【作者】

：

刘宏伟梁新刚

【机构】

：

清华大学工程力学系

【出处】

：

工程热物理学报

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

SOI DSOI MOSFET 热阻模型 SOI DSOI MOSFET thermal resistance model

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本文简单介绍了SOI和DSOI半导体器件制造技术,并提出了单管体硅,SOI及DSOI MOSFET的热阻模型.进而对体硅,SOI MOSFET器件,特别是DSOI MOSFET的热学特性进行数值计算,比较并分析了其数值计算结果.

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