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本文简单介绍了SOI和DSOI半导体器件制造技术,并提出了单管体硅,SOI及DSOI MOSFET的热阻模型.进而对体硅,SOI MOSFET器件,特别是DSOI MOSFET的热学特性进行数值计算,比较并分析了其数值计算结果.
单管体硅，SOI及DSOI MOSFET热分析
【摘 要】
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本文简单介绍了SOI和DSOI半导体器件制造技术,并提出了单管体硅,SOI及DSOI MOSFET的热阻模型.进而对体硅,SOI MOSFET器件,特别是DSOI MOSFET的热学特性进行数值计算,比较并分
【机 构】
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清华大学工程力学系
【出 处】
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工程热物理学报
【发表日期】
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2002年4期
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