条纹反射法测量三维面形中的积分算法

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基于不同梯度数据噪声,研究讨论了几种典型的梯度积分算法,并提出了一种改进的Southwell全局积分算法.以重建面形和原始面形的相似度、均方根误差作为算法性能参数,对梯度数据进行模拟测试.搭建条纹反射实验平台,对标准凹球面反射镜进行积分重建,并将条纹反射法测量结果和实际元件参数进行对比.实验结果表明:用改进的Southwell算法重建的凹球面的半径误差为0.09%,结构相似度大于0.999,其重建速度为原算法的1.2倍.改进后的Southwell算法相较于传统的积分算法,获得了更高的重建质量和重建效率,满
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