【摘 要】
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杜洛埃有机介质广泛应用于高频微波集成电路，由于材料表面固有特性而增加了集成薄膜电阻的难度。通过改变杜洛埃介质表面的形貌获得良好的平滑表面，并采用薄膜电路制造工艺，实现
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杜洛埃有机介质广泛应用于高频微波集成电路，由于材料表面固有特性而增加了集成薄膜电阻的难度。通过改变杜洛埃介质表面的形貌获得良好的平滑表面，并采用薄膜电路制造工艺，实现了在无铜箔的杜洛埃介质上制作微波混合集成电路。已成功实现了功分器、微波天线等产品的制作。对集成薄膜电阻的性能进行了详细工艺分析和讨论。
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