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通过测定紫外激光烧蚀Ａｌ靶诱导等离子体的发射光谱，研究了激光烧蚀Ａｌ靶的溅射过程和烧蚀环境气体对发射光谱强度的影响，提出电子碰撞激发模型，定性解释了烧蚀环境气体对等离子体发射光谱的增强效应。
紫外激光烧蚀金属Al靶诱导等离子体的发射光谱研究
【摘 要】
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通过测定紫外激光烧蚀Ａｌ靶诱导等离子体的发射光谱，研究了激光烧蚀Ａｌ靶的溅射过程和烧蚀环境气体对发射光谱强度的影响，提出电子碰撞激发模型，定性解释了烧蚀环境气体对等离子体发射
【机 构】
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华东理工大学化学物理研究室
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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1994年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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