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栅氧前清洗是栅氧工艺的重要部分,本文介绍二种适用于亚微米/深亚微米的清洗工艺:采用稀释化学试剂和兆声波清洗的VCS清洗工艺和IMEC清洗工艺.
亚微米/深亚微米的栅氧清洗技术
【摘 要】
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栅氧前清洗是栅氧工艺的重要部分,本文介绍二种适用于亚微米/深亚微米的清洗工艺:采用稀释化学试剂和兆声波清洗的VCS清洗工艺和IMEC清洗工艺.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第58研究所
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2003年3期
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