TiAlSiN硬质涂层的制备方法及研究现状

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简述了TiAlSiN硬质涂层的制备方法,并对比了其优劣性。总结了国内外TiAlSiN硬质涂层的研究现状及进展,分析了TiAlSiN硬质涂层特点,论述了涂层技术未来的方向。
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