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本文论述了用Sol-Gel技术制备功能陶瓷薄膜的潜在优越性,对涉及化学方面的基本问题做了分析。用金属醇盐和无机盐为原材料,用适量的醋酸为催化剂,制备出性能良好的BaTiO3凝胶;用迥肇法成膜技术,控制每次成膜厚度,制得无裂纹的BaTiO3薄,为无定形相;经600℃以上热处理后,得到四方相BaTiO3铁电薄膜。采用不同性质的基片,可制备多晶、高度取向或外延薄膜。对薄膜的微结构和电学性能进行了分析和测试。最后指出了用Sol-Gel技术制备优质功能陶瓷薄膜尚需进一步研究的问题。