【摘 要】
：
以BCl3-C3H6-H2为气相反应体系,采用低压化学气相沉积制备硼掺碳涂层。研究了Ar气稀释流量对硼掺碳涂层沉积速度、形貌、组成和键合状态的影响。结果表明,不同稀释气体流量作
【机 构】
：
西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室
论文部分内容阅读
以BCl3-C3H6-H2为气相反应体系,采用低压化学气相沉积制备硼掺碳涂层。研究了Ar气稀释流量对硼掺碳涂层沉积速度、形貌、组成和键合状态的影响。结果表明,不同稀释气体流量作用下,硼掺碳的沉积速度没有明显变化,产物形貌由致密向层状转变,硼元素含量稍有减少而碳元素含量稍有增加。沉积产物中B元素的键合方式以B-sub-C和BC2O为主。结合化学反应和气体扩散,探讨了稀释气体的作用机制,表明PyC形成反应的主导作用导致稀释气体流量对沉积速度作用不明显,而BCl3和C3H6在Ar气中扩散系数的差异导致产物形貌和组成发生变化。
其他文献
为切实解决中等职业技术教育,特别是经济欠发达地区、边远山区中职教育在面临经济社会快速发展变化中所面临的各种问题,笔者试结合自身经验就职业技术教育思想政治工作的创新
随着人口老龄化的加快与老年人口规模的日益扩大,预计到2020年,我国老年人口将达到2.43亿,约占总人口的18%。老年人口的养老问题已经成为社会一大热点和焦点。当前,我国老龄
按规定必须办理施工许可的建筑工程项目,只有依法取得施工许可证后才被允许开工建设。由于新的工程建设管理模式的出现、施工许可制度本身的缺陷、有关单位对办理施工许可条
据考证,历史上所用的萆薢主要来源于薯蓣属和菝葜属植物.用作草薢的主要植物有:叉蕊薯蓣(Dioscorea collettii Hook.f.)、粉背薯蓣(D.collettii Hook.f.var.hypoglauca(Palib
该文提出了固相萃取-气相色谱法快速检测蔬菜中氟虫腈和丁烯氟虫腈多残留的分析方法。样品用乙腈水溶液均质提取,经盐析作用分离出乙腈层,经Carb柱净化后用GC-u ECD检测分析,
企业征信业是社会信用体系的重要组成部分。当前我国的企业征信行业还处于初步发展阶段,市场经济秩序混乱、企业失信行为大量发生,就是因为我国的企业征信制度没有真正建立和